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檢測尺寸: 滑片高度尺寸L。
檢測方式: 氣動非接觸式測量,以A面定位,在兩個測量點分別布置兩組對向測量噴嘴,用來測量滑片的高度及平行度。
顯示部分:
配用流量式、壓力式或氣電式量儀。
主要技術指示:
重復精度:≤1μm